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专利详情
一种用于ITO靶材清洗烘干装置
申请号：
CN201920951199.4
申请公布号：
CN210754111U
申请日：
2019-06-21
申请公布日：
2020-06-16
申请（专利权）人：
中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司,广东凯盛光伏技术研究院有限公司
专利代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司
分类号：
B08B13/00；B08B3/12；F26B23/06；F26B9/06
专利介绍
本实用新型公开了一种用于ITO靶材清洗烘干装置，本清洗烘干装置使用时，将载有ITO靶材的架子放置于水槽中，通过纯水水喉将纯水通入水槽内，启动超声振子开始清洗，清洗完成后，通过排水管将水槽内的水排尽，开启电阻加热棒进行烘干；使ITO靶材一次完成清洗烘干，消除ITO靶材在清洗干燥过程中因转移碰撞造成的残次品；省去数个水槽，缩小设备占用空间，节省设备成本，简化工艺流程，提高效率。
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